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產品技術
背膜SiN?
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統
祝融系列ZR5000×1管式PECVD系統突破性解決傳統管式PECVD的產能瓶頸，可與微導納米ALD鈍化技術無縫對接，確保PERC、TOPCon、XBC等高效電池生產。以先進技術和裝備高度集成，形成高質量、高產能、低成本的產業化量產。
銷售郵箱
產品特點
適用于 PERC, PERT, TOPCon, XBC 等高效電池技術的應用
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優異的溫度和等離子體控制系統與高載片量，輔助搭配 ALD 鈍化薄膜，提升效率與降低生產成本
2
精準制備 SiNx, SiONx, SiC, SiOx 等復合鈍化膜，精準控制各層光學參數與厚度
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優異的薄膜厚度均勻性
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